滿足半導(dǎo)體、面板等高科技行業(yè)的超純水需求，水質(zhì)穩(wěn)定可靠
電子級(jí)超純水是經(jīng)過(guò)多重工藝處理的高純度水，通過(guò)去除各類雜質(zhì)，達(dá)到極高的純度標(biāo)準(zhǔn)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、液晶面板等高科技領(lǐng)域，是保證產(chǎn)品質(zhì)量和良率的關(guān)鍵工藝用水。
采用高性能RO膜，兩級(jí)反滲透系統(tǒng)可去除99.9%以上的溶解鹽分，為后續(xù)處理提供優(yōu)質(zhì)進(jìn)水。
連續(xù)電去離子技術(shù)，無(wú)需化學(xué)再生，連續(xù)產(chǎn)水，出水電阻率可達(dá)16MΩ.cm以上。
超純樹脂拋光系統(tǒng)，進(jìn)一步去除微量離子，確保出水電阻率達(dá)到18.25MΩ.cm。
254nm和185nm雙波長(zhǎng)紫外線，殺滅細(xì)菌病毒，同時(shí)分解有機(jī)物，降低TOC含量。
0.01μm超濾膜，有效去除細(xì)菌、病毒、膠體等微粒，保證水質(zhì)的微生物安全。
膜式脫氣器去除溶解氧和二氧化碳，防止管道腐蝕，提高水質(zhì)穩(wěn)定性。
嚴(yán)格控制各項(xiàng)指標(biāo)，確保水質(zhì)穩(wěn)定可靠
電阻率
TOC含量
顆粒數(shù)(≥0.1μm)
細(xì)菌含量
| 參數(shù) | 單位 | 半導(dǎo)體用水 | 面板用水 | 光電用水 |
|---|---|---|---|---|
| 電阻率(25℃) | MΩ·cm | ≥18.2 | ≥17.5 | ≥16.0 |
| 總有機(jī)碳(TOC) | ppb | ≤1.0 | ≤5.0 | ≤10.0 |
| 顆粒物(≥0.1μm) | 個(gè)/ml | ≤1.0 | ≤3.0 | ≤5.0 |
| 硅(Si) | ppb | ≤0.5 | ≤1.0 | ≤3.0 |
| 鈉(Na) | ppb | ≤0.1 | ≤0.2 | ≤0.5 |
| 氯(Cl) | ppb | ≤0.1 | ≤0.2 | ≤0.5 |
| 溶解氧(DO) | ppb | ≤5.0 | ≤10.0 | ≤20.0 |
| 細(xì)菌總數(shù) | CFU/ml | ≤1.0 | ≤1.0 | ≤10.0 |
注：以上標(biāo)準(zhǔn)僅供參考，具體標(biāo)準(zhǔn)可根據(jù)客戶需求定制
多級(jí)處理，層層把關(guān)，確保水質(zhì)達(dá)標(biāo)
多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭過(guò)濾
反滲透脫鹽
深度脫鹽
電去離子
最終純化
18MΩ·cm超純水
預(yù)處理系統(tǒng)是超純水處理的第一道工序，主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物等大顆粒雜質(zhì)，為后續(xù)處理創(chuàng)造條件。主要工藝包括：
一級(jí)反滲透系統(tǒng)是超純水處理的核心工藝之一，通過(guò)半透膜的選擇性透過(guò)作用，去除水中的離子、有機(jī)物、膠體等雜質(zhì)。主要特點(diǎn)：
一級(jí)反滲透系統(tǒng)通常包括保安過(guò)濾器、高壓泵、反滲透膜組件、清洗系統(tǒng)等。
混床系統(tǒng)是通過(guò)離子交換原理，進(jìn)一步去除水中的離子，提高水的純度?；齑彩顷?yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂的混合床，具有以下特點(diǎn)：
混床系統(tǒng)通常包括混床罐、再生系統(tǒng)、酸堿儲(chǔ)罐等。
二級(jí)反滲透系統(tǒng)是在一級(jí)反滲透的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高水質(zhì)純度的工藝。主要作用：
二級(jí)反滲透系統(tǒng)通常采用低壓反滲透膜，能耗更低，水回收率更高。
拋光處理系統(tǒng)是超純水處理的最后一道工序，用于進(jìn)一步提高水質(zhì)純度，確保水質(zhì)達(dá)到電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)。主要工藝包括：
拋光處理系統(tǒng)通常采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)用水點(diǎn)的需求進(jìn)行定制。
分配系統(tǒng)是將超純水輸送到各用水點(diǎn)的系統(tǒng)，是確保超純水水質(zhì)不受二次污染的關(guān)鍵。主要特點(diǎn)：
分配系統(tǒng)通常包括循環(huán)泵、熱交換器、在線監(jiān)測(cè)儀表、閥門等。
專業(yè)設(shè)計(jì)，穩(wěn)定可靠，滿足高標(biāo)準(zhǔn)需求
采用多重保障措施，確保水質(zhì)長(zhǎng)期穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，滿足高標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)需求。
系統(tǒng)水回收率可達(dá)75%-85%，大幅降低運(yùn)行成本，節(jié)約寶貴水資源。
采用高效節(jié)能設(shè)備和優(yōu)化工藝，降低能耗30%以上，減少碳排放。
采用先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)和SCADA監(jiān)控平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行和遠(yuǎn)程監(jiān)控。
模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)和升級(jí)，降低維護(hù)成本，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
根據(jù)客戶需求和原水水質(zhì)，提供定制化設(shè)計(jì)，確保系統(tǒng)最優(yōu)性能。
廣泛應(yīng)用于高科技產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程
芯片清洗、蝕刻工藝用水
LCD、OLED面板生產(chǎn)
硅片清洗、電池片制造
電解液配制、電極清洗
我們的超純水系統(tǒng)已成功應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)
客戶需求：30噸/小時(shí)電子級(jí)超純水，水質(zhì)要求電阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb。
解決方案：采用"預(yù)處理+一級(jí)RO+混床+二級(jí)RO+拋光處理"工藝。
項(xiàng)目成果：
客戶需求：15噸/小時(shí)電子級(jí)超純水，水質(zhì)要求電阻率≥17.5MΩ·cm，TOC≤5ppb。
解決方案：采用"預(yù)處理+一級(jí)RO+EDI+二級(jí)RO+拋光處理"工藝。
項(xiàng)目成果：
從需求分析到運(yùn)維服務(wù)，全程專業(yè)支持
深入了解客戶需求，分析原水水質(zhì)，確定處理目標(biāo)
根據(jù)需求和原水水質(zhì)，設(shè)計(jì)最優(yōu)處理工藝和系統(tǒng)方案
按照設(shè)計(jì)方案，生產(chǎn)制造高品質(zhì)設(shè)備和系統(tǒng)
專業(yè)團(tuán)隊(duì)現(xiàn)場(chǎng)安裝設(shè)備，調(diào)試系統(tǒng)至最佳狀態(tài)
系統(tǒng)試運(yùn)行，驗(yàn)證水質(zhì)，優(yōu)化運(yùn)行參數(shù)
系統(tǒng)達(dá)標(biāo)驗(yàn)收，正式交付客戶使用
對(duì)客戶操作人員進(jìn)行專業(yè)培訓(xùn)，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行
提供長(zhǎng)期技術(shù)支持和維護(hù)服務(wù)，確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行